
チューナブルダイオードレーザ(近赤外線、NIR)によるレーザ吸収分光法を用いたIn-Situタイプのレーザ式ガス分析計

プロセスガスに含まれるO2、CO、CO2、HF、NH3、HCI、H2Oなどの分子は、近赤外領域レーザを吸収する特性を有しており、その吸収強度から 分子の濃度を知ることができます。
この吸収帯(波長)は分子の種類によって様々であるため、測定したい分子の吸収波長をうまく選択する ことで、他の分子の干渉を受けることなくガス濃度を測定することができます。
セントラルユニットに内蔵されたダイオードレーザにて生成された近赤外波長レーザは、ハイブリッドケーブルと呼ばれる光ケーブルを経由して
投光センサからプロセスガス中に照射され、受光センサのフォトトランジスタにて電気信号として検出されます。
この検出された電気信号は、再び光信号に変換され
ループケーブルおよびハイブリツドケーブルを経由
してセントラルユニットに返ってきます。
照射されたレーザ強度と受光されたレーザ強度を
比較することで、測定対象ガス成分の濃度を測定
することが可能となります。
セントラルユニットは、測定対象成分を封入した参
照セルを内蔵しており、この参照セルによつて常時
自己校正が行われます。
また、ダイオードレーザの発光強度も監視しており、
常時ダイオードレーザの異常監視およびゼロ校正が
行われます。このため、LDS 6は、標準ガスを用い
ての校正作業を行う必要がありません